Cuốn sách này nghiên cứu việc thiết kế và chế tạo các bộ truyền động nano hoạt động ngoài mặt phẳng và có tính lưỡng ổn, sử dụng vật liệu hợp kim nhớ hình (SMA), nhằm hướng tới các ứng dụng tiềm năng trong lĩnh vực thiết bị quang tử có thể điều chỉnh được. Ứng suất dư và hiệu ứng nhớ hình của các màng SMA tạo nên cơ sở cho cơ chế lưỡng ổn này. Các quy trình chế tạo đã được phát triển cho các bộ truyền động nano lưỡng ổn và các cấu trúc quang tử được thiết kế. Kết quả nghiên cứu trong cuốn sách mở ra những hướng đi mới cho việc phát triển các bộ truyền động nano lưỡng ổn dựa trên SMA cũng như ứng dụng của chúng trong lĩnh vực quang tử.

Abstract:

This book investigates the design and fabrication of shape memory alloy (SMA) based bistable out-of-plane nanoactuators for potential applications in the field of tunable photonic devices. Residual stress and shape memory effect of the SMA films form the basis of the bistable mechanism. Fabrication processes are developed for the designed bistable nanoactuators and photonic structures. The results of this book open new routes for the development of SMA-based bistable nanoactuators and their application in photonics.

Ngôn ngữ:	eng
Tác giả:	Li, Zixiong
Thông tin nhan đề:	Development of Bistable Out-of-Plane SMA Nanoactuators
Nhà xuất bản:	KIT Scientific Publishing
Loại hình:	Tài nguyên giáo dục mở / Bộ sưu tập: Cơ khí - Chế tạo máy
Bản quyền:	https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/deed.en
Nguồn gốc:	https://www.ksp.kit.edu/books/m/10.5445/KSP/1000186402
Mô tả vật lý:	240p.
Năm xuất bản:	2026