Tóm tắt nội dung
Thiết bị MEMS được tìm thấy trong nhiều thiết bị và hệ thống điện tử ngày nay, từ cảm biến túi khí trong ô tô đến điện thoại thông minh, hệ thống nhúng, v.v. Việc giảm kích thước ngày càng dẫn đến các thiết bị có kích thước nanomet, được gọi là NEMS. Số lượng lớn các ứng dụng trên thị trường thương mại đã nói lên điều đó và đặc biệt là đối với việc sản xuất MEMS và NEMS dựa trên silicon có độ chính xác cao. Mặc dù đây là một thành tựu to lớn nhưng silicon với tư cách là vật liệu vẫn có một số nhược điểm, chủ yếu là về độ mỏi cơ học và tính chất nhiệt. Cacbua silic (SiC), một chất bán dẫn dải rộng nổi tiếng được áp dụng trong các sản phẩm thương mại đang có mức tăng trưởng theo cấp số nhân, đặc biệt là trong lĩnh vực điện tử công suất. Mặc dù SiC MEMS đã tồn tại trong nhiều thập kỷ, nhưng trong Số đặc biệt này, chúng tôi tìm cách nắm bắt cả thông tin tổng quan về các thiết bị đã được chứng minh cho đến nay, cũng như đưa các công nghệ và tiến bộ mới trong lĩnh vực xử lý MEMS lên hàng đầu. Do đó, Số đặc biệt này nhằm giới thiệu các tài liệu nghiên cứu, thông tin liên lạc ngắn và đánh giá các bài báo tập trung vào: (1) các thiết kế, chế tạo, điều khiển và mô hình hóa SiC MEMS và NEMS mới dựa trên tất cả các loại cơ chế truyền động; và (2) những phát triển mới trong việc ứng dụng SiC MEMS và NEMS trong điện tử tiêu dùng, truyền thông quang học, công nghiệp, y học, nông nghiệp, vũ trụ và quốc phòng.
Abstract:
MEMS devices are found in many of today’s electronic devices and systems, from air-bag sensors in cars to smart phones, embedded systems, etc. Increasingly, the reduction in dimensions has led to nanometer-scale devices, called NEMS. The plethora of applications on the commercial market speaks for itself, and especially for the highly precise manufacturing of silicon-based MEMS and NEMS. While this is a tremendous achievement, silicon as a material has some drawbacks, mainly in the area of mechanical fatigue and thermal properties. Silicon carbide (SiC), a well-known wide-bandgap semiconductor whose adoption in commercial products is experiening exponential growth, especially in the power electronics arena. While SiC MEMS have been around for decades, in this Special Issue we seek to capture both an overview of the devices that have been demonstrated to date, as well as bring new technologies and progress in the MEMS processing area to the forefront. Thus, this Special Issue seeks to showcase research papers, short communications, and review articles that focus on: (1) novel designs, fabrication, control, and modeling of SiC MEMS and NEMS based on all kinds of actuation mechanisms; and (2) new developments in applying SiC MEMS and NEMS in consumer electronics, optical communications, industry, medicine, agriculture, space, and defense.
Sử dụng ứng dụng Libol Bookworm quét QRCode này để mượn và đọc tài liệu)
(Lưu ý: Sử dụng ứng dụng Bookworm để xem đầy đủ tài liệu. Bạn đọc có thể tải Bookworm từ App Store hoặc Google play với từ khóa "Libol Bookworm”)