Kỹ thuật chụp ảnh tương phản pha tia X dựa trên mạng lưới được thiết lập để vượt qua các giới hạn của hình ảnh X-quang thông thường trong việc phát hiện các khác biệt mật độ tinh tế và mở ra một cách để mô tả cấu trúc vi mô của mẫu mà không cần độ phân giải không gian cực cao. Kỹ thuật này dựa trên các cấu trúc mạng lưới với chu kỳ micromet và tỷ lệ khung hình cực đại – chế tạo chúng bằng phương pháp quang khắc tia X với chất lượng cấu trúc tối ưu là chủ đề của công trình này.

Abstract:

Grating based X-ray phase contrast imaging sets out to overcome the limits of conventional X-ray imaging in the detection of subtle density differences and opens a way to characterize a sample’s microstructure without the need for ultrahigh spatial resolution. The technique relies on grating structures with micrometric periods and extreme aspect ratio – their fabrication by X-ray lithography with optimal structure quality is the topic of this work.

Ngôn ngữ:	eng
Tác giả:	Koch, Frieder Johannes
Thông tin nhan đề:	X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control
Nhà xuất bản:	KIT Scientific Publishing
Loại hình:	Tài nguyên giáo dục mở / Bộ sưu tập: Điện tử - Viễn thông
Bản quyền:	https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/
Nguồn gốc:	https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/62856
Mô tả vật lý:	138tr
Năm xuất bản:	2017