Công nghệ MEMS ngày càng thâm nhập vào cuộc sống của chúng ta và cải thiện chất lượng cuộc sống. Song song với đó, những tiến bộ trong công nghệ nano và vật liệu nano đã thúc đẩy sự phát triển của NEMS. Gồm chín chương đánh giá các công nghệ tiên tiến và xu hướng tương lai của chúng, cuốn sách này tập trung vào sự phát triển mới nhất của các thiết bị và quy trình chế tạo trong lĩnh vực các hệ thống cơ điện cực kỳ thu nhỏ này. Cuốn sách cung cấp kiến ​​thức và hiểu biết mới về thiết kế, chế tạo và đóng gói, cũng như các giải pháp trong các khía cạnh này cho các ứng dụng mục tiêu, nhằm hỗ trợ các nhà khoa học, kỹ sư và học viên đang tham gia nghiên cứu có liên quan. Trong các chương, các vấn đề thực tế và tiến bộ được thảo luận đối với các thiết bị vi mô linh hoạt, bioMEMS, cấy ghép thông minh, MEMS quang học, cấu trúc gia công nano và NEMS, cùng các loại khác. Hầu hết các chương cũng tập trung vào các quy trình chế tạo/đóng gói mới, bao gồm gia công vi mô khối silicon, gia công vi mô bằng laser, quang khắc nano và đóng gói cho vi điện tử cấy ghép được kích hoạt bằng vật liệu nano.

Abstract:

MEMS technology is increasingly penetrating into our lives and improving our quality of life. In parallel to this, advances in nanotechnology and nanomaterials have been catalyzing the rise of NEMS. Consisting of nine chapters reviewing state-of-the-art technologies and their future trends, this book focuses on the latest development of devices and fabrication processes in the field of these extremely miniaturized electromechanical systems. The book offers new knowledge and insight into design, fabrication, and packaging, as well as solutions in these aspects for targeted applications, aiming to support scientists, engineers and academic trainees who are engaged in relevant research. In the chapters, practical issues and advances are discussed for flexible microdevices, bioMEMS, intelligent implants, optical MEMS, nanomachined structures and NEMS, and others. Most of the chapters also focus on novel fabrication/packaging processes, including silicon bulk micromachining, laser micromachining, nanolithography, and packaging for implantable microelectronics enabled by nanomaterials.

Ngôn ngữ:	eng
Tác giả:	Takahata, Kenichi (editor)
Thông tin nhan đề:	Advances in Micro/Nano Electromechanical Systems and Fabrication Technologies
Nhà xuất bản:	IntechOpen
Loại hình:	Tài nguyên giáo dục mở / Bộ sưu tập: Cơ khí - Chế tạo máy
Bản quyền:	https://creativecommons.org/licenses/by/3.0/
Nguồn gốc:	https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/66541
Mô tả vật lý:	236p.
Năm xuất bản:	2019