In thạch bản, quá trình chế tạo cơ bản của các thiết bị bán dẫn, đóng vai trò quan trọng trong chế tạo vi mô và nano và cuộc cách mạng trong mạch tích hợp mật độ cao. Cuốn sách này là kết quả của nguồn cảm hứng và đóng góp từ nhiều nhà nghiên cứu trên toàn thế giới. Mặc dù việc đưa vào các chương sách có thể không phải là sự thể hiện đầy đủ của tất cả các nghệ thuật in thạch bản, nhưng nó đại diện cho một bộ sưu tập tốt các đóng góp trong lĩnh vực này. Chúng tôi hy vọng độc giả sẽ thích đọc cuốn sách này nhiều như chúng tôi đã thích khi tập hợp nó lại với nhau. Chúng tôi muốn cảm ơn tất cả những người đóng góp và tác giả của cuốn sách này.

Abstract:

Lithography, the fundamental fabrication process of semiconductor devices, plays a critical role in micro- and nano-fabrications and the revolution in high density integrated circuits. This book is the result of inspirations and contributions from many researchers worldwide. Although the inclusion of the book chapters may not be a complete representation of all lithographic arts, it does represent a good collection of contributions in this field. We hope readers will enjoy reading the book as much as we have enjoyed bringing it together. We would like to thank all contributors and authors of this book.

Ngôn ngữ:	eng
Tác giả:	Michael Wang
Thông tin nhan đề:	Lithography
Nhà xuất bản:	IntechOpen
Loại hình:	Tài nguyên giáo dục mở / Bộ sưu tập: Công nghệ sinh học
Bản quyền:	https://creativecommons.org/share-your-work/use-remix/cc-licenses/#by-nc-sa
Nguồn gốc:	https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/128908
Mô tả vật lý:	678p.
Năm xuất bản:	2019