Cuốn sách này thảo luận về các khía cạnh chính của lĩnh vực công nghệ MEMS, được tổ chức thành hai mươi bảy chương trình bày những phát triển nghiên cứu mới nhất trong các hệ thống vi điện tử và cơ khí. Cuốn sách đề cập đến nhiều vấn đề cơ bản và thực tế liên quan đến MEMS, các thiết bị kim loại-ôxít-bán dẫn (MOS) tiên tiến và các thiết bị MOS bổ sung (CMOS), công nghệ SoC, thử nghiệm và xác minh mạch tích hợp và các chủ đề quan trọng khác trong lĩnh vực này. ?Một số chương đề cập đến các kỹ thuật và vật liệu chế tạo vi mô tiên tiến như các công nghệ hỗ trợ cho các hệ thống vi mô. Các vấn đề về độ tin cậy liên quan đến cả khía cạnh điện tử và cơ khí của các thiết bị và hệ thống này cũng được đề cập trong nhiều chương khác nhau.

Abstract:

This book discusses key aspects of MEMS technology areas, organized in twenty-seven chapters that present the latest research developments in micro electronic and mechanical systems. The book addresses a wide range of fundamental and practical issues related to MEMS, advanced metal-oxide-semiconductor (MOS) and complementary MOS (CMOS) devices, SoC technology, integrated circuit testing and verification, and other important topics in the field. ?Several chapters cover state-of-the-art microfabrication techniques and materials as enabling technologies for the microsystems. Reliability issues concerning both electronic and mechanical aspects of these devices and systems are also addressed in various chapters.

Ngôn ngữ:	En
Tác giả:	Kenichi Takahata
Thông tin nhan đề:	Micro Electronic and Mechanical Systems
Nhà xuất bản:	IntechOpen
Loại hình:	Tài nguyên giáo dục mở / Bộ sưu tập: Điện tử viễn thông
Bản quyền:	https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/
Nguồn gốc:	https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/64724
Mô tả vật lý:	526p.
Năm xuất bản:	2019