Vàng và kim loại quý đã hấp dẫn con người từ thời xa xưa vì những đặc điểm đẹp đẽ của chúng. Trong xã hội hiện đại, kim loại quý, đặc biệt là vàng, đóng vai trò quan trọng như các thành phần trong các thiết bị điện tử vì độ dẫn điện cao, độ ổn định hóa học và mật độ cao. Trong lĩnh vực thiết bị MEMS, nhu cầu thu nhỏ liên tục và tăng cường độ nhạy luôn cao. Đặc biệt đối với máy đo gia tốc MEMS, độ nhạy bị ảnh hưởng bởi nhiễu Brown và cần có các thành phần có khối lượng đủ lớn để triệt tiêu nhiễu này. Do đó, rất khó để giảm kích thước của các thành phần để cho phép thu nhỏ thiết bị hơn nữa. Cuốn sách này trình bày những tiến bộ gần đây trong quá trình điện phân kim loại quý và các ứng dụng của vật liệu nền vàng trong việc hiện thực hóa máy đo gia tốc CMOS-MEMS có độ nhạy cao.

Abstract:

Gold and noble metals have been attractive to humans from ancient times because of their beautiful features. In modern society, noble metals, especially gold, play important roles as components in electronic devices because of their high electrical conductivity, chemical stability, and density. In the field of MEMS devices, the demand for continuous miniaturization and sensitivity enhancement is always high. Especially for MEMS accelerometers, sensitivity is affected by Brownian noise, and components with sufficient mass are needed to suppress this noise. Therefore, it is difficult to reduce the dimensions of components to allow further miniaturization of the device. This book presents recent progress in noble metal electrodeposition and applications of gold-based materials in the realization of highly sensitive CMOS-MEMS accelerometers.

Ngôn ngữ:	En
Tác giả:	Sone, Masato Masu, Kazuya
Thông tin nhan đề:	Novel Metal Electrodeposition and the Recent Application
Nhà xuất bản:	IntechOpen
Loại hình:	Tài nguyên giáo dục mở / Bộ sưu tập: Cơ khí - Chế tạo máy
Bản quyền:	https://creativecommons.org/licenses/by/3.0/
Nguồn gốc:	https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/130770
Mô tả vật lý:	156p.
Năm xuất bản:	2019